加工定制:是 | 类型:感光浆 |
公司名称:广东省东莞市恒锦印刷机械有限公司
地址:东莞虎门南栅第六工业区民昌路七巷12号,联系人:
韩红梅 ,电话:18922525913 QQ:718391398
传真号:0769-85091448
特性:
1、FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸、耐碱性。
2、FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量极少,所以适合于半导体管(电晶体)、二极体、IC(集成电路)和LSI(大规模高密度集成电路)等方面使用。
使用方法:
1、表面处理:对金属板进行完全的脱脂、脱锖,请用本公司的Neocupron(用水稀释5-10倍)和弱碱水(2%氨水)进行中和,脱脂后请充分用水洗。
2、涂布处理:可用多种涂布方法,如旋转、浸蘸、喷涂等。
3、烘干:置入热风恒温干燥器中,80-1000C,20分钟;或置于加热板上,80-1000C,2分钟。
4、曝光:用i线(365nm)~g线(436nm)曝光。
5、显像:使用FMR显像液,在常温下显影1分钟,用FMR洗涤液冲洗30秒。
6、烘烤:在1500C的情况下,加热20-30分钟,或置于加热板上,1500C,3分钟,可以提高耐腐蚀性。
7、蚀刻:按常规处理。
8、剥膜:使用FMR剥膜液,在常温下浸渍2-3分中,然后用水洗。
包装:
500ml 2L 18L
种类及危险等级:
品 名
种类分四类
危险等级
FMR
第2石油类
Ⅲ
FMR显影液
第2石油类
Ⅲ
FMR稀释液
***石油类
Ⅱ
FMR染色液
第2石油类
Ⅲ
FMR冲洗液
***石油类
Ⅱ
FMR剥膜液
第2石油类
Ⅲ